Tại sao chúng ta nên chuyển sang sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng tia hồng ngoại?
Hãy thừa nhận rằng các lò nướng kiểu truyền thống thật sự kém hiệu quả. Chúng hoạt động chậm, chiếm nhiều diện tích, và tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng không khí và các bức tường kim loại của máy, trước khi có thể làm nóng chính wafer.
Đó là lý do tại sao mọi người đang chuyển sang sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng tia hồng ngoại. Phương pháp này hiệu quả hơn nhiều. Thay vì làm nóng cả căn phòng, chúng ta chỉ cần làm nóng trực tiếp lớp vật liệu trên wafer.
Không cần chờ đợi lâu
Hãy nghĩ về cách thức sấy khô thông thường: chúng ta phải chờ đợi luồng khí nóng hoàn thành công việc của mình. Quá trình này mất rất nhiều thời gian.
Với phương pháp tia hồng ngoại, chúng ta sử dụng bức xạ điện từ để kích thích các phân tử trong lớp phủ của wafer di chuyển. Chúng ta sử dụng tia hồng ngoại tần số cao vì chúng có thể xuyên vào các lớp bề mặt của wafer một cách nhanh chóng. Điều tuyệt vời nhất là chúng ta có thể loại bỏ các chất ổn định chứa chì và các chất lỏng dễ bay hơi, vốn cần phải được xử lý bằng nhiệt độ cao trong nhiều giờ. Phương pháp này nhanh hơn nhiều, và cũng tốt hơn cho môi trường.
Năng lượng hiệu quả, không lãng phí
Chúng ta thiết lập các bóng đèn này để tạo ra mật độ năng lượng cao. Tại sao ư? Bởi vì chúng ta muốn năng lượng được tập trung ngay tại vị trí cần thiết. Nhờ đó, quá trình gia nhiệt chỉ mất vài giây thay vì vài phút. Chúng ta không cần để lò nướng hoạt động trong suốt một giờ để chờ đợi. Chỉ cần bật công tắc, wafer sẽ đạt đến nhiệt độ cần thiết ngay lập tức. Rất đơn giản.
Thách thức: Áp lực nhiệt
Tuy nhiên, việc sử dụng tia hồng ngoại cũng có những thách thức. Tia hồng ngoại có công suất cao – có lẽ quá cao nếu chúng ta không kiểm soát cẩn thận. Nếu tăng nhiệt độ quá nhanh, wafer có thể bị biến dạng, thậm chí nứt vỡ. Đó là lý do tại sao chúng ta cần phải điều chỉnh đúng mức công suất của bóng đèn và khoảng cách giữa bóng đèn và wafer, để tránh tình trạng xuất hiện các điểm nóng.
Quy trình vệ sinh dễ dàng
Ưu điểm lớn nhất của phương pháp này là đây là quy trình “khô”. Không có khí thải từ quá trình đốt cháy, cũng không có khí độc hại lan tỏa trong phòng thí nghiệm. Hơn nữa, phương pháp này cũng có thể được áp dụng dễ dàng trong môi trường chân không hoặc với khí trơ. Đây chính là giải pháp lý tưởng cho các nhà sản xuất muốn tuân thủ các tiêu chuẩn “xanh” hoặc không sử dụng chì. Đây là giải pháp thay thế tuyệt vời cho những hệ thống gia nhiệt cũ, tiêu tốn nhiều năng lượng.