
减少半导体洁净室中的碳足迹
在半导体制造厂中,大多数洁净室仍采用传统的方式加热:通过对整个腔室进行加热来达到升温效果。这就好比为了加热一块披萨而让整个房子都变热一样,这是一种能源的浪费,也会对环境造成负面影响。
我们找到了更好的方法——使用短波红外线加热器。这样,热量可以直接作用于需要加热的工件上,无需再浪费能量去加热空气或墙壁。停止“整体加热”的方式吧!
如果我们真的想要实现碳中和的目标,就必须摒弃这种整体加热的方式。我们的红外线加热器能够发出特定波长的热量,而这些波长正是目标材料所吸收的。由于我们可以精确控制功率和电压,因此热量只会作用于工件上,而不会渗透到洁净室的墙壁中。这样一来,工厂的空调系统就不必那么辛苦地工作来维持室温了。
关于设备的细节
我们使用的材料是高纯度石英,同时还涂有特殊的涂层,这样才能确保热量能够穿透材料,而不是仅仅停留在表面。最棒的是,这些设备几乎都可以直接替换原有的加热元件,无需重新设计整个系统。此外,我们还使用了高温连接器,这样就不用担心端子会被烧坏的问题。不过,请注意,在处理石英时务必小心,因为如果玻璃表面留下指纹或油污,就容易导致局部过热,进而使加热元件提前损坏。请保持表面清洁。
优缺点
好消息是,红外线加热器的反应速度非常快,几乎可以立即开始加热。这意味着当不需要使用该系统时,可以立即关闭它,从而节省电费,同时也不必担心需要很长时间才能恢复到所需温度。不过,红外线加热器需要有一个清晰的视线路径,如果加热器无法“看到”工件,就无法对其加热。如果洁净室的布局比较复杂,那么可能需要调整多个加热器的角度,以消除冷点。另外,确保电源稳定也很重要,因为电压的突然波动会更快地损坏高密度红外线元件。