快速干燥的冲洗后晶圆灯

在300mm线上的湿晶圆 放置的湿晶圆意味着生产线停滞。残留的水分会在光刻之前导致条纹、颗粒和良率损失。我们在冲洗后构建了一个快速干燥模块，将冲洗到干燥的交接转变为一个受控的热步骤，而不是一次盲目的尝试。 底层原理 我们在石英-卤素设置中使用短波和中波红外线，快速释放能量，同时保持光谱紧凑，以避免...