晶圆加工设备用温度传感器

阻止玻璃碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆免受污染 在半导体制造厂中，灯具发生故障绝非小事，而是一场灾难。当红外灯管在高温环境下无法正常工作时，不仅会导致生产中断，还会让石英碎片和卤素气体溅到晶圆表面。 我们专门设计了这种红外灯，就是为了避免这种情况发生。 防止碎片飞溅 我们首先使用高纯度的合成石英材...