MEMS传感器晶圆干燥加热器

在用化学溶剂清洗完MEMS传感器晶圆之后，对其进行干燥处理时，其实是在走一条极其危险的钢丝。虽然需要高温才能完成干燥过程，但操作地点却靠近易燃的溶剂。稍有不慎，就可能引发严重的问题。 因此，我们选择使用短波红外灯。这种灯能够快速释放出大量热量，从而在基材的其他部分过热之前就能将液体迅速蒸发掉。 应...