在用化学溶剂清洗完MEMS传感器晶圆之后，对其进行干燥处理时，其实是在走一条极其危险的钢丝。虽然需要高温才能完成干燥过程，但操作地点却靠近易燃的溶剂。稍有不慎，就可能引发严重的问题。
因此，我们选择使用短波红外灯。这种灯能够快速释放出大量热量，从而在基材的其他部分过热之前就能将液体迅速蒸发掉。
应对风险
在化学清洗过程中，最需要担心的显然是火灾问题。我们不会仅仅依赖设备本身的安全性，还会采用额外的防护措施。我们将红外灯放入密封的石英或蓝宝石管中，这样就可以有效防止易燃蒸汽接触到高温的钨丝。此外，我们还会用耐化学腐蚀的树脂来密封电路，从而杜绝气体进入的可能性。
热量与气流
这些加热器被设计为能在特定温度范围内工作。短波红外线可以瞬间穿透液体残留物，将其转化为蒸汽。不过，这也意味着需要一个高效的排气系统。如果气流不畅，那些蒸发的化学物质就会滞留在加热器周围，这是绝对不能允许的。
确保设备正常运行
没人希望因为灯泡损坏而不得不花费大量时间来修理干燥室。我们设计的设备采用标准接口，因此更换坏掉的灯泡非常简单快捷。此外，我们还使用了强度更高的石英材料，这种材料能够承受快速的升温降温过程而不会破裂。当然，还要确保电源稳定，因为电压波动很容易导致灯丝损坏，而这无疑是个麻烦事。