晶圆除湿灯

在处理过程中，晶圆从冲洗液中取出后，计时便开始计时。任何残留的水分都会导致光阻层出现缺陷，从而影响产品的质量。因此，需要有一个能够快速去除水分的步骤——同时不能破坏材料的结构或引入杂质。 关键点在于： 我们设计的除湿灯采用石英外壳，内置短波红外线光源。其反射结构确保热量能够作用于光阻层本身，而非基...