工厂干燥系统的能源审计

在芯片制造工厂中减少碳排放：让我们来谈谈如何实现晶圆干燥的优化。 说实话，半导体工厂是能源消耗极高的场所。其中很大一部分能量被用于在晶圆经过湿法处理后的干燥过程上。 我见过很多工厂仍然使用传统的对流式加热器，这类加热器实际上只是让晶圆周围的空气变热，而非直接加热晶圆本身。这无疑是一种浪费。如果你想...