用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩

防止加工设备中的热量流失 高功率加热灯存在的问题是：它们会散发出大量热量。在加工晶圆时，这些红外线能量不会停留在某个固定位置，而是向四周散发。如果没有有效的措施来控制这些热量，那么设备的内部结构就会吸收这些热量。很快，设备的外壳就会过热，从而带来安全隐患。没人希望使用那种像烤箱一样的设备。 石英材...