高能效晶圆加热器

为什么我们要转向红外线晶圆加热技术？ 说实话，传统的对流式烤箱效率极低。它们反应缓慢、体积庞大，而且为了加热空气和机器的金属壁而浪费大量能源，而这些能量本可以用来加热晶圆本身。 正因如此，现在大家都开始采用红外线加热技术。这种方式更高效——无需加热整个房间，只需直接加热晶圆表面即可。 告别漫长的等...