На линии производства с длиной волны 300 мм процесс высушивания фоторезиста требует тщательного управления температурой – иначе можно потратить все ресурсы впустую. Недостаточная однородность температуры приводит к изменениям ширины линий на поверхности пластины. Если процесс нарушается из-за выделения газов или образования частиц, придется проводить дорогостоящую переработку продукции. Необходим источник тепла, способный поддерживать стабильную температуру при каждом цикле обработки, не создавая проблем с условиями в чистой комнате.
Что имеет значение внутри устройства
Мы используем инфракрасные лампы с молибденовым нагревателем – высокоэмиссионные молибденовые нити, помещенные в кварцевую оболочку, настроенную для работы в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения. Спектр излучения соответствует спектру поглощения фоторезиста, что позволяет быстро удалять растворители, при этом поверхность подложки остается стабильной.
В зоне высушивания однородность температуры сохраняется в пределах ±0,1°C, а повторяемость значений температуры превышает ±0,2°C между циклами обработки. Молибденовая конструкция сохраняет свою геометрию даже при высоких температурах, поэтому не возникает «горячих точек» или холодных участков поверхности. Эффективность работы лампы сохраняется более 5 000 часов, с отклонением интенсивности излучения менее 5%. Корпус лампы разработан для использования в чистых комнатах класса 1–100, и при стабильной работе она не производит никаких частиц.
Почему это важно в процессе литографии
Процессы мягкого и жесткого высушивания определяют критические размеры изделия. Благодаря этой лампе можно быстрее достичь нужной температуры, поддерживать ее на стабильном уровне и снизить колебания количества остатков растворителя. Это способствует лучшему контролю размеров изделия, снижению количества неудачных результатов обработки и уменьшению отходов. Также снижается потребление энергии, так как реакция лампы происходит мгновенно, а время работы снижается. Улучшается и надежность устройства – уменьшается количество неожиданных перерывов в работе из-за замены лампы. Кроме того, можно расширить диапазон параметров процесса без необходимости изменения технологических процедур.
Некоторые практические соображения
Установка лампы зависит от полярности и направления потока охлаждающей жидкости. Если эти параметры не соблюдены, сокращается срок службы лампы и ухудшается однородность температуры. Лампа работает с стандартными сигналами управления 24 В и использует распространенные интерфейсы производителей. Однако при первой установке необходимо проверить точность расположения отражателя. После замены лампы необходимо повторно настроить камеру для поддержания однородности температуры в пределах ±0,1°C.