Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300mm, việc sấy khô lớp phim quang học là bước quan trọng; bạn cần sử dụng năng lượng một cách hiệu quả, nếu không sẽ lãng phí năng lượng. Sự không đồng đều về nhiệt độ sẽ dẫn đến sự biến thiên về độ rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer. Nếu quá trình này bị nhiễm bẩn do khí thải hoặc các hạt vật chất, bạn sẽ phải tiến hành gia công lại. Bạn cần một nguồn nhiệt có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình gia công, mà không gây ra bất kỳ vấn đề gì cho môi trường làm việc trong phòng sạch.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại loại molybdenum – những sợi kim loại molybdenum có khả năng phát xạ cao, được đặt bên trong vỏ thủy tinh dùng để chiếu sóng hồng ngoại ngắn bước sóng. Các tia sáng này phù hợp với khả năng hấp thụ của lớp phim quang học, giúp loại bỏ dung môi một cách nhanh chóng, trong khi bề mặt substrat vẫn duy trì được trạng thái ổn định.
Ở khu vực sấy khô, độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của nhiệt độ cũng tốt hơn, ở mức ±0,2°C giữa các lần gia công. Cấu trúc molybdenum giúp duy trì hình dạng ổn định của bóng đèn dưới áp lực nhiệt, nhờ đó không xảy ra tình trạng nhiệt độ cao ở một số vị trí hay nhiệt độ thấp ở các vị trí khác. Hiệu suất hoạt động của bóng đèn đạt mức ổn định sau hơn 5.000 giờ sử dụng, với sai số về cường độ ánh sáng dưới 5%. Thân bóng đèn được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt vật chất nào trong quá trình hoạt động.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ăn mòn Quá trình sấy khô mềm và sấy khô cứng đều ảnh hưởng đến các kích thước quan trọng trong quy trình in ăn mòn. Với loại bóng đèn này, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh chóng, duy trì nhiệt độ ổn định mà không gây ra sự biến thiên, đồng thời giảm thiểu lượng dung môi còn sót lại trên bề mặt wafer. Điều này giúp kiểm soát chính xác các kích thước của sản phẩm, giảm số lượng sản phẩm bị lỗi, và giảm lượng chất thải. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống vì phản ứng xảy ra nhanh chóng và thời gian hoạt động ngắn hơn. Độ tin cậy của quy trình cũng được cải thiện – ít xảy ra tình trạng ngưng máy do thay thế bóng đèn – và bạn có thể mở rộng phạm vi hoạt động của quy trình mà không cần chỉnh sửa công thức sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế Việc lắp đặt bóng đèn phụ thuộc vào cực tính và dòng chảy của chất làm mát. Nếu những yếu tố này không được đảm bảo, tuổi thọ của bóng đèn sẽ giảm, và độ đồng đều về nhiệt độ cũng bị ảnh hưởng. Bóng đèn hoạt động tốt với các tín hiệu điều khiển 24V thông thường và các giao diện OEM phổ biến. Tuy nhiên, bạn vẫn cần kiểm tra lại vị trí của bộ phản xạ ánh sáng ngay từ lần lắp đặt đầu tiên.
Bạn cần chờ một thời gian để bóng đèn đạt trạng thái cân bằng nhiệt. Sau khi thay thế bóng đèn, bạn cần điều chỉnh lại nhiệt độ trong buồng sấy để đảm bảo độ đồng đều vẫn ở mức ±0,1°C.