シャードの発生を防ぐ：なぜリンスサイクルには防水型のIRランプが必要なのか もし、リンスサイクル中にIRランプが破損した経験があるなら、どれほどひどい状況になるかよくわかるでしょう。それはまさに悪夢です。単に部品が壊れただけではなく、ウェーハ全体がガラスの破片や化学物質で覆われてしまいます。これは...

300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い 300mmラインでは、ウェットウェーハが放置されるとラインが停止します。残留水分は、リソグラフィーに到達する前に、ストリークや粒子、歩留まりの損失を引き起こします。リンスの直後に速乾モジュールを構築し、リンスから乾燥へのハンドオフを制御された熱処...