省エネ型ウェーハヒーター

なぜ私たちは赤外線ウエハー加熱方式に移行するのか？ 正直に言えば、従来の対流式オーブンは非効率的です。処理速度が遅く、サイズも大きい上、ウエハーに触れる前に空気や機械の金属部を加熱するだけで大量のエネルギーが無駄になります。 そのため、今ではみんなが赤外線加熱方式に切り替えているのです。これの方が...