ファブラムプ用の石英ガラスシールド

ファブ装置内の熱の漏れを防ぐ方法 高出力の加熱ランプには、大きな問題があります。それは、そのランプが非常に熱を発するということです。ウェーハを加工しているとき、その赤外線エネルギーは一定の方向に留まるわけではありません。あらゆる方向に放出されてしまいます。 もしその熱を制御する手段がなければ、機械...