洗浄後のランプでの速乾ウェハ

300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い 300mmラインでは、ウェットウェーハが放置されるとラインが停止します。残留水分は、リソグラフィーに到達する前に、ストリークや粒子、歩留まりの損失を引き起こします。リンスの直後に速乾モジュールを構築し、リンスから乾燥へのハンドオフを制御された熱処...