ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 半導体製造工場では、ランプが故障すると、それは単なる迷惑な問題ではありません。それは本当の悪夢です。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、停止時間だけでなく、クォーツの破片やハロゲンガスがウェーハの表面に飛び散って...

化学的な洗浄処理の後でMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、非常に細心の注意が必要です。作業を行うには強力な熱が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐ近くで行われます。少しでも間違えると、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。このランプは、ウェハ...

スマートファブで正確な熱データを取得するには もしインダストリー4.0の工場を構築しようとしているのであれば、単に温度を上げるだけでは不十分だということをお分かりでしょう。実際に何が起きているかを知らせてくれるシステムが必要です。 私たちは、スマートセンサーを搭載した赤外線システムを利用して、単な...

水素センサーの製造過程で熱を無駄にしないようにしましょう。 水素センサーを製造する際、ウェーハ上の温度分布は正確でなければなりません。推測に頼ることはできません。そのために、私たちは専用の加熱ランプや金メッキされた反射材を使用しています。 目的は非常に単純です。基板に届くすべての電力が無駄にならず...

リソグラフィー工程において、ベイク処理というのは単なるウォームアップではありません。それは実際の工程そのものです。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動でも、フォトレジストのTg値が変わってしまいます。また、ハードベイク時には不均一性が生じ、エッジ部分や線幅に問題が出ます。信頼できる温度制御が必要であ...