製造現場では、フォトレジスト内やウェーハ表面に残った水分が、露光後にウェーハの寸法精度を悪化させてしまいます。その水分を除去しなければ、不良品が生じ、最悪の場合は大量のウェーハが廃棄されてしまいます。だからこそ、ウェーハ内の水分を除去するためのヒーターランプが必要なのです。これにより、湿潤したウェ...

ライン上では、ウェーハが洗浄工程を経て出てきます。その時点からタイマーが動き始めます。残っている水分は、レジストの不均一な硬化やブリッジ現象として現れ、それによって歩留まりが低下します。したがって、熱負荷を増やしたり、粒子が混入したりすることなく、迅速に水分を除去する必要があります。 内部で重要な...