CVD 化学気相成長 ヒーター

スケジューラーは、ヒーターが追いつくのを待っているわけにはいきません。CVDチャンバーでは、工程の要求に応じてすぐに温度が安定している必要があります。設定値からたとえ1度でもずれると、薄膜の厚さが変動したり、応力が変わったり、歩留まりが低下したりします。 内部で重要なのは何か 私たちは、このCVD...