ファブ化学キャビネットヒーター

ファブ内では、フォトレジストの安定性は単なる望ましい特性ではなく、必須の条件です。ソフトベイクやハードベイクの際にわずか0.5度でも温度が変動すれば、製品の寸法に影響が出ます。また、実際の負荷条件下で設定温度を維持できないヒーターでは、不良品が発生したり、計画外の停止時間が増えたりします。私たちは...