半導体ヒーター用テフロン線

オーブンを待つのはやめよう：なぜ半導体製造において赤外線加熱が優れているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風循環式の加熱方式が使われている。この方式を使ったことがある人なら、その手間のかかり方を知っているだろう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、最終的にウエハーが温まるの...