実際に、冷たいロッカールームをすぐに温める方法とは？ 誰もが、まるでフリーザーの中に入ったような寒いロッカールームに入りたくないものです。これを解決するには、短波赤外線を利用する必要があります。 コツは、部屋全体の空気を温めようとするのではなく、直接人や物体に熱を当てることです。そうすれば、ほぼ瞬...

半導体製造におけるグローブボックスの炭素排出量を削減する方法 半導体製造工場で使われているグローブボックスのほとんどは、従来の方法で動作しています。つまり、対流や抵抗加熱器を使ってチャンバー全体を加熱するのです。これは、たった一枚のピザを温めるために家全体を温めるようなもので、エネルギーの無駄遣い...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのには、単純な理由があります。それは、半導体ウェーハ乾燥炉に使われているOEM製品の代わりとして、高性能で信頼性の高い代替品を提供するためです。 高価な海外製の機器を購入するのに疲れてしまった方や、同等の性能を持つソリューションを求めている方にとって、...

なぜわずか0.1℃という数値がウェーハの酸化処理において重要なのか ウェーハの酸化処理は、手を抜くことができないプロセスです。チャンバー全体に均一な熱が行き渡る必要があります。もし加熱要素が0.1℃以内の精度で温度を維持できない場合、酸化膜の厚みが不均一になり、歩留まりが低下してしまいます。 その...

製造現場では、その重要性は言うまでもありません。フォトレジストのソフトベイク時に±2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、乾燥過程で粒子が発生すると、一括して不良品になってしまいます。私たちは、プロセスの許容範囲が極めて狭いこのような環境下で、安定した熱特性を実現するため...