クリーンルーム用赤外線ヒーター
クリーンルームでのランプの爆発という悪夢を防ぐには
もしウェーハ製造時に赤外線ランプが故障してしまったことがあるなら、それがどれほど大変なことかご存知でしょう。単に熱が出なくなるだけではありません。問題は、水晶の破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ってしまうことです。クリーンルームでは、これは本当に...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クリーンルーム内の赤外線ランプを安全に保つために
クリーンルームでは、少しのミスでも大変なことになります。わずかな汚染や突然の電気的トラブルがあれば、一日の作業はもちろん、プロジェクト全体が台無しになってしまいます。私たちが製造する赤外線ランプは、特定の温度を出すように設計されていますが、実際に重...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
なぜ私たちがクリーンルーム用のカートで赤外線加熱を利用するのか
半導体製造工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てを決定づける要素です。部品に汚れが残っていれば、それは問題です。
そのため、私たちはカートシステムに赤外線加熱を採用しています。多くの人は熱というと空気を送り込むことを思い浮...