ファブ装置内の熱の漏れを防ぐ方法 高出力の加熱ランプには、大きな問題があります。それは、そのランプが非常に熱を発するということです。ウェーハを加工しているとき、その赤外線エネルギーは一定の方向に留まるわけではありません。あらゆる方向に放出されてしまいます。 もしその熱を制御する手段がなければ、機械...

製造現場では、その重要性は言うまでもありません。フォトレジストのソフトベイク時に±2℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、乾燥過程で粒子が発生すると、一括して不良品になってしまいます。私たちは、プロセスの許容範囲が極めて狭いこのような環境下で、安定した熱特性を実現するため...