真空対応の赤外線ヒーター

真空状態でのIR加熱による炭素排出量の削減 もし半導体工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、ウェーハが酸化したり汚れたりしないように、真空状態で処理を行う必要があります。多くの人々は従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、私たちはより良い方法を見つけま...