ファブ装置内の熱の漏れを防ぐ方法
高出力の加熱ランプには、大きな問題があります。それは、そのランプが非常に熱を発するということです。ウェーハを加工しているとき、その赤外線エネルギーは一定の方向に留まるわけではありません。あらゆる方向に放出されてしまいます。
もしその熱を制御する手段がなければ、機械の内壁がその熱をすべて吸収してしまいます。やがて、機械の筐体が過熱し、作業員にとって安全上のリスクとなります。外側がオーブンのように熱くなるような装置は、誰も欲しくないでしょう。
石英を使った解決策
ここで役立つのが、高純度の石英製のシールドです。これを「熱の遮断壁」と考えるとわかりやすいでしょう。石英は、適切な波長の赤外線を通させる一方で、熱が機械の他の部分に漏れ出るのを防ぎます。ランプと筐体の間にこのシールドを設置することで、実質的に熱の遮断壁ができます。そうすることで、余分な熱がワークピースの方に戻されます。その結果、熱は本来あるべき場所に行き、装置の外側は快適な温度に保たれます。これは、混沌とした熱源を精密なツールに変える簡単な方法です。
注意点
石英は頑丈で、激しい温度変化にも耐えられますが、完全無欠というわけではありません。実際の敵は汚れです。ファブ用の化学薬品や油が表面に付着すると、「ホットスポット」が生じます。そうなると、ガラスがエネルギーを吸収してしまい、局部的なストレスが生じ、最終的にはチューブが壊れてしまいます。熱流量を安定させたいのであれば、ガラスを常に清潔に保つ必要があります。それだけです。
実際の使い方
最も良い点は、この方法によって設備の構成が大きく変わることです。熱が漏れ出るのを防げば、内部の冷却システムはそれほど頑張る必要がなくなります。外部の筐体が熱くなるのを防ぐために、大きなファンや過剰な冷却装置を使う必要もありません。これは、熱による問題を解決するための簡単な機械的な解決策です。ランプに配線を接続し、シールドを設置するだけで、処理エリアが筐体から完全に隔離されます。とても簡単です。