산업용 웨이퍼 히터 공장

생산 현장에서는, 베이크 온도가 단 0.5도만 변해도 포토레지스트의 품질이 기준치를 벗어나서 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 소프트 베이크, 하드 베이크, 웨이퍼 건조 과정은 단순한 열 처리 과정이 아니라, 선너비 제어 및 결함 감소에 매우 중요한 역할을 합니다...