유리 조각의 낙하를 막아라: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 반도체 제조 공장에서 램프가 고장나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 심각한 재앙입니다. 과도한 부하로 인해 적외선 램프가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 석영 조...

화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시킬 때는 매우 신중해야 합니다. 작업을 완료하기 위해서는 강력한 열이 필요하지만, 그 과정에서 가연성 용매들과 가까이 있어야 하기 때문입니다. 조금이라도 실수하면 심각한 문제가 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 단파...

스마트 팩토리에서 정확한 온도 데이터를 얻는 방법 만약 인더스트리 4.0형 공장을 구축하려 한다면, 단순히 열을 높이는 방식으로는 더 이상 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 실제로 무슨 일이 일어나고 있는지 알려주는 시스템이 필요합니다. 우리는 스마트 센서가...

수소 센서 제조 과정에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 수소 센서를 제작할 때는 웨이퍼의 온도가 정확해야 합니다. 추측할 여지가 없습니다. 이를 위해 우리는 특수한 가열 램프와 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 목표는 간단합니다. 기판에 도달하는 모든 에너지가 공중...

리소그래피 공정에서의 베이킹은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 그것은 실제적인 공정의 일부입니다. 소프트 베이킹 시에 2°C만큼의 온도 변화가 생기면 포토레지스트의 Tg 값이 변하게 되며, 하드 베이킹 시에는 불균일성으로 인해 가장자리나 선의 굵기에 문제가 생길 수 있...