화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시킬 때는 매우 신중해야 합니다. 작업을 완료하기 위해서는 강력한 열이 필요하지만, 그 과정에서 가연성 용매들과 가까이 있어야 하기 때문입니다. 조금이라도 실수하면 심각한 문제가 생길 수 있습니다.
그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프는 빠르고 강력한 열을 웨이퍼에 가하여, 기판의 다른 부분이 과열되기 전에 액체를 즉시 건조시켜 줍니다.
위험 요소 관리 화학적 세척 과정에서 가장 우려되는 것은 바로 화재입니다. 우리는 단순히 장비가 “안전할 것”이라고 믿는 것이 아니라, 실제로 보호 장치를 설치합니다.
적외선 램프는 밀폐된 석영이나 사파이어 튜브 안에 들어 있습니다. 이는 가연성 기체가 뜨거운 텅스텐 필라멘트와 접촉하는 것을 방지하는 보호 장치라고 할 수 있습니다. 또한 배선도 내화성이 뛰어난 수지로 밀봉됩니다. 이 모든 것은 기체가 침투할 수 있는 모든 틈을 막기 위한 조치입니다.
열과 공기 흐름 이 히터들은 매우 특정한 온도 범위에서 작동하도록 설계되어 있습니다. 단파 적외선은 액체 잔여물을 순식간에 증기로 변환시켜 줍니다.
하지만 문제는, 효과적인 배기 시스템이 필요하다는 것입니다. 만약 공기 흐름이 원활하지 않으면, 증발된 화학물질들이 히터 주변에 남아 있게 됩니다. 이런 상황은 절대 용납될 수 없습니다.
장비의 지속적인 작동 아무도 전구가 고장 났다는 이유로 오후 시간을 들여 건조 장치를 분해하는 것을 원하지 않습니다. 그래서 우리는 표준 커넥터를 사용하여 장비를 모듈형으로 만들었습니다. 그래서 고장 난 램프를 교체하는 것이 빠르고 간편합니다.
또한, 강화된 석영을 사용하여 급격한 온도 변화에도 장비가 손상되지 않도록 했습니다. 단, 전원 공급 장치에 필터가 있는지 반드시 확인해야 합니다. 갑작스러운 전압 변동은 필라멘트가 손상되는 가장 빠른 원인이므로, 이를 방지하는 것이 중요합니다.