몰리브덴 지지체형 적외선 램프

300mm 공정에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에서 열에너지를 효율적으로 활용할 수도 있고, 반대로 낭비할 수도 있습니다. 균일성이 떨어지면 웨이퍼 전체에 걸쳐 선의 굵기에 변동이 생깁니다. 또한 가스 방출이나 입자 생성으로 인해 공정이 오염된다면 다시 작업을 해...