Pada garis pengeluaran 300mm ini, proses pembakaran bahan fotoresist merupakan langkah penting. Anda perlu menggunakan tenaga haba dengan bijak, atau ia akan disia-siakan begitu saja. Kekurangan keseragaman suhu akan menyebabkan variasi ketebalan garis pada permukaan wafer. Jika berlaku pencemaran akibat pelepasan gas atau kehadiran zarah-zarah tertentu, maka proses perlu dimulakan semula. Anda memerlukan sumber haba yang mampu mengekalkan suhu yang stabil, dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain, tanpa menyebabkan masalah dalam bilik bersih.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan lampu inframerah berbasis molibdenum – filamen molibdenum yang mempunyai kadar emisi tinggi, yang diletakkan di dalam kelongsong kuarza yang disesuaikan untuk frekuensi inframerah pendek. Spektrum cahaya tersebut sepadan dengan spektrum penyerapan bahan fotoresist, sehingga pelarut dapat dikeluarkan dengan cepat, sementara permukaan substrat tetap stabil.
Di kawasan pembakaran ini, keseragaman suhu dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C, dan kebolehulangan proses pengeluaran pula melebihi ±0.2°C dari satu sesi ke sesi yang lain. Struktur penyangga molibdenum ini memastikan geometri lampu tetap stabil walaupun terdapat beban haba yang tinggi, sehingga tidak akan berlaku kawasan yang terlalu panas atau sejuk. Prestasi lampu tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%. Badan lampu ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan ia tidak menghasilkan sebarang zarah semasa beroperasi.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Proses pembakaran yang efektif akan membantu mencapai dimensi yang tepat. Dengan lampu ini, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat, dan suhu tersebut dapat dikekalkan tanpa melampaui batas yang ditetapkan. Ini seterusnya mengurangkan variasi baki pelarut pada permukaan substrat.
Hasilnya, kawalan dimensi menjadi lebih baik, jumlah gambar yang gagal berkurangan, dan jumlah bahan buangan juga berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana tindak balas lampu yang cepat dan masa operasinya yang singkat. Kebolehpercayaan proses juga meningkat, kerana kurangnya gangguan yang disebabkan oleh perubahan lampu. Anda juga boleh memperluaskan julat operasi proses tanpa perlu mengubah resipi pengeluaran.
Beberapa perkara praktikal
Pemasangan lampu bergantung pada polariiti dan aliran cecair penyejuk. Jika faktor-faktor ini tidak betul, jangka hayat lampu akan berkurangan, dan keseragaman suhu juga akan terjejas. Lampu ini boleh beroperasi dengan isyarat kawalan standard 24V dan antaramuka OEM yang biasa digunakan. Namun, anda masih perlu memastikan penyesuaian reflektor dilakukan dengan betul pada masa pemasangan pertama.
Anda perlu menunggu sedikit masa agar lampu mencapai keseimbangan suhu. Selepas menukar lampu, anda perlu menetapkan semula suhu di dalam bilik pembakaran agar tetap berada dalam lingkungan ±0.1°C.