ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มิลลิเมตรนั้น ขั้นตอนการอบฟิโลเรสิสต์ถือเป็นช่วงเวลาสำคัญที่จะต้องใช้พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพ หากไม่ทำเช่นนั้น ก็จะเกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ซึ่งส่งผลให้เกิดความแตกต่างของความกว้างของเส้นบน wafer นอกจากนี้ หากมีการปล่อยก๊าซหรือเกิดอนุภาคในระหว่างกระบวนการ ก็จำเป็นต้องทำการแก้ไขอีกครั้ง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีแหล่งกำเนิดความร้อนที่สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ได้ในทุกครั้งที่มีการอบ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่มีโครงสร้างจากโมลิบเดนัม ซึ่งมีความสามารถในการแผ่รังสีได้สูง โดยหลอดไฟนี้ถูกออกแบบมาให้ทำงานในช่วงคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น แสงที่ออกมาจะสอดคล้องกับการดูดซับของฟิโลเรสิสต์ ทำให้สามารถกำจัดสารละลายออกได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่พื้นผิวของวัสดุยังคงมีความสม่ำเสมอ
ในบริเวณที่มีการอบ อุณหภูมิจะคงที่อยู่ในช่วง ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละครั้งที่อบนั้นอยู่ในช่วง ±0.2°C โครงสร้างโมลิบเดนัมช่วยรักษารูปร่างของหลอดไฟให้คงที่ ทำให้ไม่เกิดจุดร้อนหรือจุดเย็นขึ้น ประสิทธิภาพของหลอดไฟจะคงที่เป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงของความเข้มแสงน้อยกว่า 5% ตัวหลอดไฟถูกออกแบบมาให้ใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดระดับ Class 1–100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลยในขณะที่ทำงาน
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟี การอบแบบอ่อนและการอบแบบแข็งมีบทบาทสำคัญในการกำหนดขนาดของชิ้นส่วนที่ผลิตได้ ด้วยหลอดไฟนี้ คุณสามารถทำให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้ลดความแปรปรวนของสารละลายที่เหลืออยู่ได้
สิ่งนี้ส่งผลให้สามารถควบคุมขนาดของชิ้นส่วนได้ดีขึ้น ลดจำนวนชิ้นส่วนที่ไม่มีคุณภาพ และลดการใช้พลังงาน เนื่องจากการตอบสนองของหลอดไฟนั้นรวดเร็ว และเวลาในการอบก็สั้นลง ความน่าเชื่อถือของกระบวนการก็ดีขึ้นด้วย เพราะมีการหยุดทำงานเนื่องจากการเปลี่ยนหลอดไฟน้อยลง และยังสามารถขยายช่วงเวลาการทำงานของกระบวนการได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับสูตรการผลิตใหม่
เคล็ดลับบางอย่าง การติดตั้งหลอดไฟนั้นขึ้นอยู่กับขั้วไฟฟ้าและการไหลของน้ำเย็น หากสองสิ่งนี้ไม่ถูกต้อง อายุการใช้งานของหลอดไฟก็จะลดลง และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะเปลี่ยนแปลงไป หลอดไฟนี้สามารถทำงานได้กับสัญญาณควบคุม 24V และอินเทอร์เฟซทั่วไป แต่ก็ยังจำเป็นต้องตรวจสอบการจัดวางของกระจกสะท้อนในครั้งแรกที่ติดตั้งด้วย
ควรมีเวลาในการปรับอุณหภูมิให้คงที่ก่อนเริ่มการอบ และหลังจากการเปลี่ยนหลอดไฟ ก็จำเป็นต้องปรับค่าอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C อีกครั้ง