红外发射器的陶瓷端盖

为什么在半导体加工中，红外发射器比热风更优 如果你仍然依赖热空气来实现深度加工，那无疑意味着你要花费大量时间等待。想想看，空气的导热性极差。为了让热量能够传递到晶圆上，你必须先耗费大量能量来加热大量气体。这个过程非常缓慢。 而红外发射器则完全避免了这一问题。它直接将能量传递到基板上，无需经过任何中...