阻止玻璃碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆免受污染 在半导体制造厂中，灯具发生故障绝非小事，而是一场灾难。当红外灯管在高温环境下无法正常工作时，不仅会导致生产中断，还会让石英碎片和卤素气体溅到晶圆表面。 我们专门设计了这种红外灯，就是为了避免这种情况发生。 防止碎片飞溅 我们首先使用高纯度的合成石英材...

在用化学溶剂清洗完MEMS传感器晶圆之后，对其进行干燥处理时，其实是在走一条极其危险的钢丝。虽然需要高温才能完成干燥过程，但操作地点却靠近易燃的溶剂。稍有不慎，就可能引发严重的问题。 因此，我们选择使用短波红外灯。这种灯能够快速释放出大量热量，从而在基材的其他部分过热之前就能将液体迅速蒸发掉。 应...

在智能工厂中准确获取温度数据 如果您正在规划一个工业4.0时代的工厂，那么您应该已经意识到，仅仅通过提高温度来控制生产过程已经不够了。您需要一个能够实时反映实际状况的系统。 我们使用配备智能传感器的红外线系统，将原始的热量转化为可用的数据。这不仅仅是让部件变热那么简单，而是要能够实时查看整个生产线...

停止让氢传感器制造过程中的热量白白流失 在制造氢传感器时，芯片上的温度分布必须精确到极致。不能有任何误差。为此，我们使用了专门的加热灯以及镀金反射器。 目标很简单：让每一瓦特的能量都作用于芯片上，而不是浪费在空气中。 为什么选择黄金？ 大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于，铝会吸收并散射大量能...

在光刻工艺中，烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工序。如果软烘烤时的温度变化达到2°C，就会导致光阻材料的玻璃化转变温度发生改变；而硬烘烤过程中的温度不均匀性则会导致边缘尺寸和线宽出现偏差。因此，必须要有精确的温度控制机制，而不能依赖运气。 从技术角度来看，什么是最重要的？ 我们在晶圆...