红外发射器的陶瓷端盖
为什么在半导体加工中,红外发射器比热风更优 如果你仍然依赖热空气来实现深度加工,那无疑意味着你要花费大量时间等待。想想看,空气的导热性极差。为了让热量能够传递到晶圆上,你必须先耗费大量能量来加热大量气体。这个过程非常缓慢。
而红外发射器则完全避免了这一问题。它直接将能量传递到基板上,无需经过任何中...
红外灯用铝制反射器
我们设计的这些铝制反射型红外灯,是为实际工业环境而打造的——那种需要高效、可靠的加热解决方案的场合。在为高功率红外灯接线时,必须确保其能够立即产生热量,同时还要严格保证电气安全。因此,在每盏灯离开我们的工厂之前,我们都会对其进行彻底的绝缘性能测试。每一盏灯都是如此。
功率、电压与尺寸:决定产品性能...
用于晶圆的精确红外传感器
在光刻工艺中,烘烤过程并非简单的预热步骤,而是一个至关重要的工序。如果软烘烤时的温度变化达到2°C,就会导致光阻材料的玻璃化转变温度发生改变;而硬烘烤过程中的温度不均匀性则会导致边缘尺寸和线宽出现偏差。因此,必须要有精确的温度控制机制,而不能依赖运气。
从技术角度来看,什么是最重要的? 我们在晶圆...