半导体光刻烘箱灯

在光刻车间里，光阻烘烤过程的温度变化只要0.5摄氏度，就可能导致线宽出现纳米级的偏差——而这恰恰会导致大量产品被废弃。为了解决这个问题，我们设计了专用的光刻炉灯，它利用短波近红外光来提供快速且高效的热量传递，从而确保关键的热处理步骤能够保持稳定。 从技术角度而言，重要的是： 该灯工作在近红外波段，...