与真空环境兼容的红外加热器
利用真空红外技术降低半成品中的碳含量
如果你曾在制造工厂工作过,就会明白其中的难度。我们需要精确控制温度,但同时又要保持真空环境,以避免晶圆被氧化或污染。大多数人仍然使用传统的电阻式加热器,但我们找到了更好的方法:适用于真空环境的红外加热器。
这其实是一个简单的解决方案,但它能大幅降低能源成本和碳...
真空室红外加热器
保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时,最不希望发生的情况就是加热元件开始释放颗粒物,从而污染设备。这种情况其实比人们想象的要常见。普通的加热元件在受热过程中容易出现碎裂或释放气体的情况,而一旦发生这种情况,那么你的晶圆或高精度光学元件就毁了。
为了解决这个问题,我们使用高纯度的合...