陶瓷红外加热板

在晶圆厂车间，温度均匀性不是一个可选指标——它关系到成品晶粒率和报废率的界限。在光刻胶软烘烤过程中，晶圆上的1℃温度波动就足以使线宽偏离，进而导致误差累积直到最终测试环节。我们设计的陶瓷红外加热面板，正是为消除这一风险而生。 技术重点 该面板采用陶瓷红外发射器，具备短波响应特性，能实现快速、直接耦...