SK15 红外线灯用于晶圆炉

在晶圆制造车间，你很清楚流程：光阻软烘烤中0.3°C的温度漂移就足以报废整批产品。用于晶圆烘箱的SK15红外灯正是为从源头遏制这种漂移而设计。它直击热预算，确保软烘烤和硬烘烤的温度曲线稳定，关键尺寸得以控制。 技术关键点 SK15采用短波近红外（NIR），实现快速体积加热，热惯性低。晶圆平面上的均...