In der Lithografie ist das Erhitzen des Wafers keine Art „Aufwärmvorgang“ – es handelt sich dabei um einen eigentlichen Prozessschritt. Eine Schwankung von 2°C während des weichen Erhitzungsprozesses führt dazu, dass sich der Schmelzpunkt des Fotolacks verändert. Bei dem harten Erhitzungsprozess treten Unregelmäßigkeiten auf, die sich in Form von Abweichungen an den Rändern sowie in der Dicke der Linien zeigen. Es ist daher notwendig, eine zuverlässige Temperaturkontrolle zu haben – nichts, worauf man einfach vertrauen kann.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden einen Präzisions-Infrarot-Sensor am Wafer, der eine thermische Homogenität von ±0,1°C auf der gesamten Erhitzungsfläche gewährleistet. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,05°C pro Charge. Der Sensorkopf ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet und wurde so konstruiert, dass keine Partikel entstehen. Der Quarz/Halogensender sorgt für eine stabile, wiederholbare NIR-Ausgabe – ohne Hotspots.
Der Sensor kann Temperaturen zwischen 90°C und 250°C steuern, wobei eine präzise Kontrolle der Temperatur erreicht wird. Das System ist außerdem dafür ausgelegt, rund um die Uhr ohne unplanmäßige Stillstände zu arbeiten.
Warum das im Produktionsbetrieb funktioniert: Im praktischen Einsatz sorgt das weiche Erhitzen dafür, dass der Fotolack jedes Mal auf dieselbe Weise behandelt wird. Das harte Erhitzen wiederum sorgt dafür, dass das Erhitzungsprofil konstant bleibt. Dadurch wird die Qualität der Lithografie verbessert, da die thermischen Bedingungen konstant bleiben.
Man benötigt weniger Qualifizierungschargen, es entstehen weniger Abfälle, und die Zykluszeit verkürzt sich. Zudem sinkt der Energieverbrauch, da die Erhitzungstemperatur genau auf die Eigenschaften des Fotolacks abgestimmt ist – nicht durch Vermutungen.
Was man wirklich wissen muss: Bei der Installation muss die Geometrie der Erhitzungsplatte sowie die Emittivität des Trägers berücksichtigt werden. Wir liefern ein Kalibrierungskit sowie eine Checkliste für eine 30-minütige Einrichtung.
Es gibt zwar eine kleine Verzögerung bei der Einrichtung, doch sobald alles eingestellt ist, kann der Prozess beginnen. Für maximale Stabilität sollte das Sensorfenster frei von Rückständen sein – dies sollte bei der vorbeugenden Wartung überprüft werden.