Warum wir auf die Infrarotheizung umsteigen Seien wir ehrlich: Die herkömmlichen Konvektionsöfen sind äußerst unpraktisch. Sie arbeiten langsam, sind...

Die richtige Trocknung der Wafer – ohne Energieverschwendung Beim Trocknen von Wafern kommt es letztendlich darauf an, wie man mit der Wärme umgeht....

Stoppen Sie den „Glass-Rain“: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn Lampen versagen In einer Halbleiterfabrik ist das Ausfallen einer Lampe mehr als nur...

Wenn man MEMS-Sensorwafer nach einer chemischen Reinigung trocknet, befindet man sich auf einem ziemlich schmalen Grat. Man benötigt intensive Hitze,...

Einführung Wir haben dieses Infrarotheizelement aus einem einfachen Grund entwickelt: Um Ihnen eine effektive Alternative zu den Originalkomponenten...

Warum diese winzige Differenz von 0,1 °C bei der Oxidation von Wafern tatsächlich wichtig ist Die Oxidation von Wafern ist ein Prozess, bei dem man...

In der Lithografie ist das Erhitzen des Wafers keine Art „Aufwärmvorgang“ – es handelt sich dabei um einen eigentlichen Prozessschritt. Eine...

Auf der Fertigungsfläche kann feuchte Luft – sei sie nun im Fotolack oder direkt auf der Wafernoberfläche vorhanden – nach der Belichtung zu...

Auf der Produktionsfläche reicht bereits eine Abweichung der Backtemperatur um ein halbes Grad aus, damit das Profil des Fotolacks nicht mehr den...

Während des Prozesses kommt die Wafer aus dem Spülvorgang heraus – und die Uhr beginnt zu ticken. Jegliche verbleibende Feuchtigkeit führt dazu, dass...

Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: eine Drift von 0,3 °C während des Photoresist-Backens reicht aus, um eine gesamte Charge zu...

Auf der 300-mm-Linie ist ein nasser Wafer, der herumliegt, ein Linienstopp. Übrig gebliebene Feuchtigkeit bedeutet Streifen, Partikel und...