なぜ半導体製造においてIRエミッターがホットエアより優れているのか もし、依然としてディーププロセッシングにホットエアを利用しているのであれば、実質的に多くの時間を待つことに費やしていることになります。 考えてみてください。空気はひどい伝導体です。ウェハーに熱が届く前に、大量のガスを加熱するために...

工場の現場では、温度均一性は追求する指標ではなく、ダイを製造することと廃棄物を出すことの間の微妙な線です。フォトレジストのベイク中にウエハ全体で1°Cの変動があると、ライン幅がずれて最終テストにまで影響を及ぼす可能性があります。我々は、このリスクを排除するためにセラミック赤外線ヒーターパネルを開発...