ウェーハ酸化用加熱素子

なぜわずか0.1℃という数値がウェーハの酸化処理において重要なのか ウェーハの酸化処理は、手を抜くことができないプロセスです。チャンバー全体に均一な熱が行き渡る必要があります。もし加熱要素が0.1℃以内の精度で温度を維持できない場合、酸化膜の厚みが不均一になり、歩留まりが低下してしまいます。 その...