製造現場での炭素削減：乾燥処理について話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの多くは、ウェハーの湿式処理後の乾燥という単純な作業に使われてしまっています。 依然として、古式の対流式オーブンや、ウェハー自体ではなく周囲の空気を温めるだけの加熱装置...

化学的な洗浄処理の後でMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、非常に細心の注意が必要です。作業を行うには強力な熱が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐ近くで行われます。少しでも間違えると、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。このランプは、ウェハ...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのには、単純な理由があります。それは、半導体ウェーハ乾燥炉に使われているOEM製品の代わりとして、高性能で信頼性の高い代替品を提供するためです。 高価な海外製の機器を購入するのに疲れてしまった方や、同等の性能を持つソリューションを求めている方にとって、...

製造現場や忙しい屋外のサービスエリアでは、濡れた衣類は太陽の光を待つ余裕などありません。乾燥機が故障すると作業が遅くなり、空気も湿って寒くなります。そこで、私たちはCE認証を取得した赤外線ヒーターを開発しました。これにより、迅速に熱を供給し、衣類を素早く乾燥させると同時に、人々が快適に過ごせる環境...

300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い 300mmラインでは、ウェットウェーハが放置されるとラインが停止します。残留水分は、リソグラフィーに到達する前に、ストリークや粒子、歩留まりの損失を引き起こします。リンスの直後に速乾モジュールを構築し、リンスから乾燥へのハンドオフを制御された熱処...

ライン上でのドリフトは許されない。 ウェハのリソグラフィおよびフォトレジスト処理における熱予算は秒単位と温度単位で管理される。燃料電池スタックの触媒層も同様に厳格であり、薄く、繊細で、不均一な乾燥を許容しない。ランプの性能が不足しているとすぐにわかる：エッジビード、接着不良、溶剤のキャリーオーバ...