モリブデン支持形赤外線ランプ

300mmウェハの製造工程において、フォトレジストの加熱処理は、適切に熱エネルギーを利用するか、それとも無駄にしてしまうかの分かれ道です。均一性が悪いと、ウェハ全体にわたって線幅のばらつきが生じます。また、ガス放出や粒子の発生によって工程が汚染されると、再処理が必要になります。したがって、温度を安...