工業用ウェーハヒーター製造工場

製造現場では、焼成温度が0.5度でも変動すれば、フォトレジストのパフォーマンスが基準値から外れてしまい、結果として廃棄処分になってしまいます。ソフトベイクやハードベイク、ウェーハの乾燥処理といった工程は、単なる加熱処理に過ぎないわけではありません。これらは、線幅やプロファイルの制御、欠陥の発生を防...