클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때 가장 싫은 것은 히팅 요소가 입자들을 주변 장비에 퍼뜨리는 것입니다. 이런 상황은 생각보다 자주 발생합니다. 일반적인 히터들은 열이 가해질 때 조각이나 가스를 방출하는 경향이 있으며, 그렇게 되면 웨이퍼나 고정밀 광학 부품들이 망가지게 됩니다.
우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 이 램프들은 진공 챔버 내에서도 아무런 문제 없이 작동하도록 특별히 설계되었습니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
우리는 금속 불순물이 제거된 융합 실리카를 사용합니다. 왜일까요? 램프가 최고 온도에 도달했을 때 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 방출되는 것을 원하지 않기 때문입니다.
일부 사람들은 코팅된 램프를 사용하지만, 그런 램프들은 시간이 지나면서 벗겨질 수 있습니다. 반면 우리가 사용하는 투명한 석영 램프는 안정적입니다. 조각이 나지 않으며, 급격한 가열 및 냉각에도 균열이 생기지 않습니다. 그냥 제대로 작동할 뿐입니다.
진공 챔버에 램프를 설치하는 방법
이 램프들을 진공 챔버에 설치할 때는 세부 사항에 주의해야 합니다. 압력 차이를 견딜 수 있도록 램프를 설계하여 누수 걱정을 하지 않아도 됩니다.
알려드릴 점은, 연결 부위의 밀폐성을 반드시 확인해야 한다는 것입니다. 열을 멀리 보내줄 공기가 없기 때문에 에너지는 직접 작업물로 전달됩니다. 이 방식은 효율적이지만, 열이 매우 강력합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
고순도 석영은 IR 에너지 전달에는 훌륭하지만, 깨지기 쉽습니다. 설치할 때 조금만 부주의해도 램프가 깨질 수 있습니다. 또한, 이 램프들은 매우 강력한 열을 방출하기 때문에 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 그렇지 않으면 진공 챔버의 벽이 변형될 수 있으며, 이는 해결하기 매우 어려운 문제입니다.
램프를 계속해서 작동시키는 방법
우리는 램프를 빠르게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 누구도 청정실의 작동 중단을 원하지 않으니까요.
설치할 때는 커넥터를 조심스럽게 다루어야 합니다. 적절한 토크를 사용해야 하며, 너무 세게 조이면 석영에 균열이 생길 수 있습니다.
또한, 램프의 와트数가 줄어든다면, 그걸 보완하기 위해 과도한 전압을 가하는 것은 피해야 합니다. 그렇게 하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 그냥 램프를 교체하고 PID 컨트롤러를 재조정하면 됩니다. 그렇게 하면 장기적으로 많은 문제를 피할 수 있습니다.