팹 장비의 열 누출을 막는 방법 고출력 가열등의 문제점은 바로 그 열이 제대로 통제되지 않는다는 것입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 그 적외선 에너지는 한 곳에 머물러 있지 않고 사방으로 퍼져나갑니다. 이 열을 통제할 방법이 없다면, 기계의 내부 벽면이 그 열을 모두 흡...

생산 현장에서는 오차가 치명적입니다. 포토레지스트를 부드럽게 가열할 때 온도가 ±2°C만 변동해도 중요한 치수들이 달라질 수 있습니다. 건조 과정에서 이물질이 발생하면 전체 제품이 폐기될 수도 있습니다. 우리는 열 특성을 예측 가능하고 일관된 상태로 유지하기 위해 고...