세척 후 빠른 건조 웨이퍼 램프

300mm 라인에서의 웨이퍼 처리 300mm 라인에서 젖어 있는 웨이퍼는 라인 정지입니다. 남아있는 수분은 스트라이프, 입자 및 리소그래피에 도달하기도 전에 수율 손실을 초래합니다. 우리는 세척 후 빠른 건조 모듈을 구축하여 세척에서 건조로의 전환을 통제된 열 단계로...