글로브박스 적외선 히터 소자

반도체 글로브박스의 탄소 발자국을 줄이는 방법 반도체 생산 공장에 있는 대부분의 글로브박스들은 기존의 방식을 사용합니다. 즉, 대류나 저항식 히터를 이용해 전체 챔버를 가열하는 것입니다. 이는 마치 피자 한 조각을 데우기 위해 집 전체를 데우는 것과 같습니다. 에너지...